有关洁净室等级FS-209E和ISO14644-1的对比分析
有关洁净室等级FS-209E和ISO14644-1的对比分析
1、 等级依据公式不同而引起结果差异
ISO14644-1的洁净的度等级依据公式与FS209E的不同，主要是将参照粒径由0.5um改成0.1um；累计分布系数n，由2.2改为2.08。其结果的差异是：
1） ISO 1级比FS209E的M1级达更严的要求。ISO1级对被考虑粒径为0.1um时，其≥0.1um粒径最大浓度限值，即被考虑粒径下粒子累计分布最大浓度值，为10pcs/m3,而M1级则为350pc/m3，其对照可见表2。ISO的等级就更适应对洁净度控制要求更严密的发展需要。
2） 由于FS209的英制洁净度等级已为大家所熟悉，改用其他标准的等级必然需要有个方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8级各与英制的1、10、100、1000、10000、100000级相当，即在被考虑粒径D=0.5 um时，其≥0.5um粒子的最大浓度限值是相同的；ISO的相关等级序数都是整数，若n仍采用FS209EDE2.2,则与英制等级对应的ISO等级序数就不是整数了，因此问题不在于2.08还是2.2更符合实际，而在于放方便合适，因为大气中悬浮粒子累计分布指数n，其经验值一般在2~2.3间。
表1 ISO 14644-1 与 FS209E 标准的差异点
| 项目 | FS-209E | ISO14644-1 |
| 1.划分等级 | 强调按其洁净度等级表中所列的标准等级，亦列出等级公式 | 强调按等级公式 |
| 2.等级依据公式 | Cm=(0.5/D)2.2× 粒子数/ft3=Nc*(0.5/D)2.2(英制) Cm—某等级下，≥D的悬浮粒子最大浓度限值Pc/m3 D—被考虑粒径um M—洁净度等级序数 Nc—英制单位的洁净度等级 | Cm=(0.1/D)2.08×10N Cn—同左Cm D—同左 N—同左M |
| 3.等级数 | M1—M7 | ISO1—ISO9级 |
| 4.测试时洁净室状态 | 未作规定 | 1种或更多状态 |
| 5.测试的粒径范围要求 | 1个或更多 | 1个或更多，其粒径至少应为下一个较小粒径的1.5倍 |
| 6.最小取样体积 | | |
| 7.取样点数 | 非单向流：A×64/(10M)0.5 单向流：A/2.32,A×64/(10M)0.5中取较小者 | |
| 8.取样次数 | 1次或更多 | 1次，若仅为一点时则取样3次 |
| 9.超微粒子 | ≤0.02um | <0.1um |
| 10.大粒子 | 未作规定 | >5um |
| 11.等动力取样 | 包括 | 未包括 |
由于两标准的 n 值取得不一，ISO有关与FS209英制等级相对应的等级，除被考虑粒径D为0.5um外，其它各被考虑粒径下的累积分布最大浓度限值便不同，如在D<0.5um时，其累积分布最大浓度限值，ISO有关等级比相当的FS209英制等级为小，而在D>0.5um时，则为大，因为大气中，悬浮粒子累积分布浓度（N）与各被考虑粒径(D)的关系是N1/N2=（D2/D1）n ，
其差别可从表2对照看出，如ISO4级与相当(FS209E 英制等级)10级，被考虑粒径D为0.5um，其≥0.5um的最大浓度限值是相同的，但当D为0.1um时，其≥0.1um粒子的最大浓度限值便各为10000Pc/m3(ISO4级)及12400Pc/m3(1000级)；又如ISO6级相当1000级，当D为5um时，≥5um的最大浓度限值各为293P c/m3(ISO6级)及247Pc/m3(1000级)。
2、 非表列的等级
ISO14644-1对ISO1~ISO9级范围内的各等级间允许按0.1递增进行再细分，为ISO1.1、ISO1.2……ISO8.8、ISO8.9，并强调按其依据公式进行计算各被考虑粒径D下的≥D粒径最大浓度限值。而FS209E则强调按其表列的标准等级，只在特殊需要情况下才允许再细分级，并按其公式近似计算其≥D 的最大浓度限值。
3、 替代粒径
ISO 14644-1对列于其表中的主要被考虑粒径外的粒径，都允许作为被考虑粒径，按其公式计算有关最大浓度限值，只要求在测量二个或更多个粒径时，各粒径间应满足大的比小的其直径至少为1.5倍。
而FS209E则对其表列被考虑粒径（见表2）以外的粒径称为替代粒径，当采用替代粒径作为控制粒径时，在某等级下，其≥该替代粒径的最大允许浓度限值不是按其等级依据公式计算得出，而规定仍按其表列的被考虑粒径中，相邻替代粒径且大于它的一个被考虑粒径的作为依据。这就于理不通，实属多此一举。
4、 洁净度等级及超微粒子等的表达格式
1) 对洁净度等级的表达格式
洁净度等级表述格式都是指粒径0.1um~5um范围内的，不适用于<0.1um及>5um的粒径。
ISO14644-1对洁净度等级的表达格式为：等级级别；等级的占用状态；被考虑粒径。如：ISO4级；动态；被考虑粒径0.2um(2370Pc/m3),1um(83Pc/m3)。
而FS209E则无明确规定，只明确为M3.5(0.3um)或100（0.3um），这个英制表达式往往被误解，有的常把100（0.3um）理解为≥0.3um粒子，最大允许浓度为100pc/ft3，实际上应理解为100级（即≥0.5um的粒子为100 pc/ft3
3） 对<0.1um及>0.5um粒子的表达格式。
ISO14644-1定义<0.1um粒径的粒子为超微粒子，其表达格式为：“U(x;y) ”，x—超微粒子浓度pc/ft3，y—超微粒子粒径。对>5um的粒子定义为大粒子，其表达格式为“M(a;b);c”，a,b各为浓度及粒径， c为测量方法，这就把小于0.1um及大于5un范围的粒径以描述符来规定其要求。而FS209E,超微粒子的定义为<0.02um的粒子，采用描述符U来表达，其格式为U(x),x指≥0.02um粒子的浓度pc/ft3，这就无法表达对<0.1um及>0.2um这段粒径的要求。另外对>5um的粒子亦未作规定。
